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光學鍍膜機


  觀察光學鍍膜機靶陰極電弧的燃燒情況•☁•☁,每當電弧熄滅前•☁•☁,能發現電弧弧斑比較粗糙▩·•◕。有時甚至出現堆團狀弧斑▩·•◕。熄滅後觀察靶面已發紅•☁•☁,靶表面溫度很高▩·•◕。粗糙弧斑的出現•☁•☁,使弧電流較集中於靶面一點•☁•☁,導致了弧斑下靶面斑點電流過於集中•☁•☁,使弧斑下的靶面溫度很高而產生大量的熱電子發射▩·•◕。
  靶面區域性大量的熱電子發射的結果•☁•☁,一方面中和了大量的空間電荷•☁•☁,使陰極表面上的電場成為減速場•☁•☁,甚至導致陰極表面上的電場等於零▩·•◕。另一方面•☁•☁,大量的熱電子發射對陰極表面產生相當大的冷卻作用▩·•◕。結果既沒有空間電荷產生的很大電場來維持表面發射•☁•☁,也不具備很高表面溫度來產生熱電子發射•☁•☁,導致電弧的熄滅▩·•◕。
  所以在光學鍍膜機多弧靶源的設計中•☁•☁,應注意給陰極靶以充分的冷卻•☁•☁,儘量採用直接水冷•☁•☁,間接水冷時•☁•☁,陰極座等相鄰部件應選用導熱效能良好的材料(如銅•◕☁╃☁、鋁等)▩·•◕。

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