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真空鍍膜裝置
科技創新為動力 專業服務為目標裝置型號 | VLT-2000C型 | VLT-2000CF型 | VLT-2000CP型 |
尺寸 | 2000×2600×40 | 2000×2600×40 | 2000×2600×40 |
靶數量(個) | 4 | 4 | 4 |
濺射功率(KW) | 80×4 | 80×4 | 80×4 |
裝機總功率(KW) | 400 | 400 | 400 |
真空室數量(個) | 7 | 7 | 7 |
鍍膜室數量(個) | 2 | 2 | 2 |
真空抽氣機組型式 | 真空泵+油擴散泵 | 真空泵+分子泵 | 真空泵+油擴散泵 |
生產節拍(分鐘/片) | 3 | 3 | 4 |
真空室材質 | 不鏽鋼 | 不鏽鋼 | 不鏽鋼 |
控制方式 | PLC | PLC | PLC |
生產方式 | 水平式 | 水平式 | 水平式 |
輔助裝置 |
水平式玻璃清洗裝置 鏡背塗裝烘烤裝置 |
水平式玻璃清洗裝置 鏡背塗裝烘烤裝置 |
水平式玻璃清洗裝置 鏡背塗裝烘烤裝置 |
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