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真空鍍膜裝置

科技創新為動力 專業服務為目標
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產品概述
       多弧離子鍍膜機是近年新開發的真空離子鍍膜技術││₪,利用真空狀態下弧光放電原理的離子鍍膜技術││₪,是先發展起來的真空鍍膜方式││₪,具有沉積速率高快││₪,結合牢固││₪,裝置執行穩定等優點││₪,我公司在傳統多弧的基礎上││₪,封靶結構·◕、磁鐵·◕、冷卻等進行了嚴格的改進和設計││₪,提高了離化率││₪,細化顆粒││₪,膜層和基材結合牢固││₪,膜層更加緻密││₪,硬度耐磨性提高││₪,適用於鍍制裝飾膜如•₪•:金色的氮化鈦││₪,黑色碳化鈦││₪,七彩的氮氧化鈦等││₪,亦可鍍防腐觸膜(如AL·◕、Cr不鏽鋼及TIN等)和耐磨膜·◕·↟。膜層與基底結合牢固││₪,適合於手錶·◕、五金·◕、餐具及要求耐磨超硬的刀具·◕、模具等·◕·↟。具有很好的發展前景·◕·↟。

技術引數
裝置型號 VLT-800型 VLT-1000型 VLT-1200型
鍍膜室尺寸 800×1250 1000×1200 1200×1500
極限真空度 ≤4×10-4pa
抽氣時間 從大氣抽至6.6×10-2Pa<10min
電弧源 6個(2KW/個) 8個(2KW/個) 6個(2KW/個)
直流負偏壓 0-1000V 10A
0-500   20A
0-1000V 12A
0-500   25A
0-1000V 20A
0-500   30A
工件尺寸 6軸(220×800) 6軸(250×1000) 6軸(280×1300)
加熱功率 15KW 20KW 25KW
總功率/平均功率 40KW/25KW 50KW/30KW 58KW/35KW
磁控靶(平面或圓柱靶) 10KW 15KW 20KW
氣體質量流量控制儀 三路 三路 三路

裝置特性
       生產同期•₪•:生產同期短-270sec/1同期(乾燥無大量放氣產品條件)
       鍍膜材料•₪•:通用於各種金屬鍍膜(鋁·◕、鎳·◕、銅·◕、鉻……等金屬材料)
       鍍膜方式•₪•:金屬濺射鍍膜││₪,膜厚分佈均勻
       鍍膜品質•₪•:亮度高·◕、附著力強
       鍍膜速度•₪•:兩個20Kw大功率磁控制濺射電機││₪,可以調動功率來控制鍍膜速度
       除溼能力•₪•:真空室內裝有雩下140度以下的低溫冷凍系統││₪,充分吸收溼氣提高真空到達速度
       運營費用•₪•:濺射電極是自行開發產品││₪,大大提高了靶材的使用效率
       佔地面精•₪•:在固定位置進行上料和下料只要很小的操作空間
       操作方法•₪•:人機介面可以直觀的進行設定和監控││₪,設有管理密碼無關人員無法更改
       售後服務•₪•:設有售後服務中心和配件倉庫││₪,可以快速處理使用中的問題

裝置原理圖示
       在適當的真空環境下││₪,接通高壓電源││₪,在蒸發源與基片間建立一個低壓氣體放電的低溫等離子區││₪,基片電極上接直流負高壓││₪,從而形成輝光放電陰極││₪,鍍料氣化原子進入此區域與惰性氣體離子及電子發生碰撞││₪,離化後的離子及氣體離子以較高能量轟擊鍍層表面││₪,將蒸發物或其反應物沉積在積片上·◕·↟。

離子鍍膜原理圖
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