如何維護和保養真空鍍膜裝置

        真空鍍膜裝置主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜₪₪╃╃·，具體包括很多種類₪₪╃╃·，包括真空離子蒸發₪₪╃╃·，磁控濺射₪₪╃╃·，MBE分子束外延₪₪╃╃·，PLD鐳射濺射沉積等很多種₪₪╃╃·，主要思路是分成蒸發和濺射兩種☁╃₪│。
需要鍍膜的被成為基片₪₪╃╃·，鍍的材料被成為靶材☁╃₪│。 基片與靶材同在真空腔中☁╃₪│。
蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來₪₪╃╃·，並且沉降在基片表面₪₪╃╃·，透過成膜過程（散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長）形成薄膜☁╃₪│。 對於濺射類鍍膜₪₪╃╃·，可以簡單理解為利用電子或高能鐳射轟擊靶材₪₪╃╃·，並使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來₪₪╃╃·，並且最終沉積在基片表面₪₪╃╃·，經歷成膜過程₪₪╃╃·，最終形成薄膜☁╃₪│。
        真空鍍膜機廠家來告訴您維護和保養真空鍍膜裝置的方法
        1₪✘↟、真空鍍膜裝置每完成200個鍍膜程式以上₪₪╃╃·，應清潔工作室一次☁╃₪│。方法是₪│▩✘╃：用燒鹼（NaOH）飽和溶液反覆擦洗真空室內壁₪₪╃╃·，（ 注意人體皮膚不可以直接接觸燒鹼溶液₪₪╃╃·，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發生反應₪₪╃╃·，反應後膜層脫落₪₪╃╃·，並釋放出氫氣☁╃₪│。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的汙垢.
        2₪✘↟、真空鍍膜機廠家提醒當粗抽泵（滑閥泵₪₪╃╃·，旋片泵）連續工作一個月（雨季減半）₪₪╃╃·，需更換新油☁╃₪│。方法是₪│▩✘╃：擰開放油螺栓₪₪╃╃·，放掉舊油₪₪╃╃·，再將泵啟動數秒₪₪╃╃·，使泵內的舊油完全排放出來☁╃₪│。擰回放油螺栓₪₪╃╃·，加入新油至額定量（油視鏡觀察）☁╃₪│。連續使用半年以上₪₪╃╃·，換油時應將油蓋開啟₪₪╃╃·，用布擦乾淨箱內汙垢☁╃₪│。
        3₪✘↟、擴散泵連續使用6個月以上₪₪╃╃·，抽速明顯變慢₪₪╃╃·，或操作失當₪₪╃╃·，充入大氣₪₪╃╃·，拆去聯結水管₪₪╃╃·，卸下電爐盤₪₪╃╃·，將一級噴嘴擰出₪₪╃╃·，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍₪₪╃╃·，再用洗衣粉兌水清洗一遍₪₪╃╃·，然後用清水徹底清洗乾淨₪₪╃╃·，待水份揮發幹以後₪₪╃╃·，裝好泵膽₪₪╃╃·，加入新擴散泵油₪₪╃╃·，並裝回機體₪₪╃╃·，接好水管₪₪╃╃·，裝好電爐盤₪₪╃╃·，便可以重新開機☁╃₪│。在重新開機前₪₪╃╃·，要注意檢漏工作☁╃₪│。方法是₪│▩✘╃：啟動維持泵₪₪╃╃·，關好大門₪₪╃╃·，數分鐘後₪₪╃╃·，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕₪₪╃╃·，否則要進行檢漏☁╃₪│。檢查聯接處是否裝密封膠圈₪₪╃╃·，或壓壞密封圈☁╃₪│。排除漏氣隱患後方可加熱₪₪╃╃·，否則擴散泵油會燒環₪₪╃╃·，無法進入工作狀態☁╃₪│。